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S49 33/MT高低壓氣體質量流量計

簡要描述:

S49 33/MT高低壓氣體質量流量計,質量流量控制器
高/低耐壓可選
Z大量程30L/min
流量規(guī)格:(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
響應時間:≤8 s(T95)
準確度:± 1.0% F.S

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S49 33/MT高低壓氣體質量流量計,質量流量控制器

 

  • 高/低耐壓可選
  • zui大量程30L/min

S49 33/MT高低壓氣體質量流量計,質量流量控制器技術指標

 

編號項目S49 33/MT
1流量規(guī)格(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10)  L/min
(15,20,30) L/min
2調節(jié)閥類型電磁調節(jié)閥
3調節(jié)閥靜止位置常閉
4準確度± 1.0% F.S± 2.0% F.S
5線性   ±1.0 % F.S,±2.0 % F.S
6重復精度±0.2  %F.S
7響應時間≤8 s(T95)
8工作壓差范圍(50 ~ 300) kPa;  (10~30)L/min (100~300)kPa
9耐壓3 MPa  ﹑ 10 MPa
10工作環(huán)境溫度5℃ ~ 45℃
11材料不銹鋼316L
12標準密封材料Viton®﹑EPDM,  或其他
13漏率1×10-8 Pa.m3/s
14接頭Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),
軟管接頭Ф4mm~Ф10mm  或其它
15輸入輸出信號0 V ~ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
16電源+15 V   50 mA
-15V  200 mA
17外形尺寸 mm134×134×38
18重量      kg1.2



,質量流量控制器安裝尺寸圖

S49 33/MT連接線

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